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華測儀器HCAM10kV、25kV系列高壓功率放大器用于離子注入機系統
發布時間:2025-05-16
華測儀器HCAM10kV、25kV系列高壓功率放大器用于離子注入機系統華測儀器10kV、25kV高壓功率放大器在離子注入機系統中的技術解析與工程實踐——國產儀器在半導體制造中的創新突破。在半導體制造領域,離子注入機被譽為“芯片制造的精密手術刀”,其核心功能是通過高能離子束對晶圓進...
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